Structural and dielectric characterization of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films deposited by reactive sputtering deposition
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Yu Lu
(1)
,
Hung Nguyen
(1, 2)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Laurent Le Gendre
(1)
,
Ala Sharaiha
(1)
,
Christophe Delaveaud
(2)
,
Xavier Castel
(1)
,
Franck Tessier
(3)
,
François Cheviré
(3)
Claire Le Paven-Thivet
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Ratiba Benzerga
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Laurent Le Gendre
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Ala Sharaiha
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Christophe Delaveaud
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Xavier Castel
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Franck Tessier
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François Cheviré
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