%0 Conference Paper %F Oral %T Structural and dielectric characterization of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films deposited by reactive sputtering deposition %+ Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) %+ Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %A Le Paven-Thivet, Claire %A Lu, Yu %A Nguyen, Hung %A Benzerga, Ratiba %A Le Gendre, Laurent %A Sharaiha, Ala %A Delaveaud, Christophe %A Castel, Xavier %A Tessier, Franck %A Cheviré, François %< avec comité de lecture %B 19th International Vacuum Congress (IVC-19) %C Paris, France %8 2013-09-09 %D 2013 %Z Engineering Sciences [physics]/MaterialsConference papers %G English %L hal-00869768 %U https://univ-rennes.hal.science/hal-00869768 %~ CEA %~ UNIV-NANTES %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IETR %~ ISCR %~ SCR_VC %~ IETR_MF %~ SCR_CTI %~ DRT %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-MATH-STIC %~ UR1-SDLM %~ UR1-UFR-ISTIC %~ IETR-CUTE %~ IETR-FUNMAT %~ IVER %~ IETR-ADH %~ TEST-UNIV-RENNES %~ LETI %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ CEA-GRE %~ UR1-MATH-NUM %~ UR1-MMS %~ IETR-STAR %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022 %~ TEST2-HALCNRS