Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films
Florent Marlec
(1)
,
Laurent Le Gendre
(1)
,
Claire Le Paven
(1)
,
François Cheviré
(2)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Franck Tessier
(2)
,
M. Chevaucherie
,
Ala Sharaiha
(1)
Florent Marlec
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Laurent Le Gendre
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Claire Le Paven
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François Cheviré
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Ratiba Benzerga
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Franck Tessier
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M. Chevaucherie
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Ala Sharaiha
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