Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00855438 , version 1 (29-08-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00855438 , version 1

Citer

Yu Lu, Dhafira Benzegoutta, Viet Hung Nguyen, Ratiba Benzerga, Claire Le Paven-Thivet, et al.. Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N. IBAF 2012 : Ion Beam Analysis Francophone - 4ème Rencontre "Analyse par faisceaux d'ions rapides", Dec 2012, Saint-Paul-Lès-Durance, France. ⟨hal-00855438⟩
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