LaTiOxNy Thin Films: structural and dielectric properties
Ahmed Ziani
(1)
,
Didier Fasquelle
(2)
,
Hussein Kassem
(3)
,
Claire Le Paven-Thivet
(4)
,
Laurent Le Gendre
(4)
,
Jean-Claude Carru
(2)
,
Valerie Vigneras
(5)
,
Franck Tessier
(6)
1
IETR -
Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
3 IMS-Bordeaux laboratory
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
6 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 LEMCEL - Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique
3 IMS-Bordeaux laboratory
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 IMS - Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
6 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Jean-Claude Carru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1192876
- ORCID : 0000-0003-0157-4519
- IdRef : 056755147
Franck Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459