Horizontal buried channels in monocrystalline silicon - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 2006

Horizontal buried channels in monocrystalline silicon

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00437263 , version 1 (30-11-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437263 , version 1

Citer

Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Olivier Bonnaud. Horizontal buried channels in monocrystalline silicon. Microsystem Technologies, 2006, 12, pp.959-963. ⟨hal-00437263⟩
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