Chalcogenide waveguide for IR optical range
Marie-Laure Anne
(1)
,
Virginie Nazabal
(1)
,
Virginie Moizan
(1)
,
Catherine Boussard-Plédel
(1)
,
Bruno Bureau
(1)
,
Jean-Luc Adam
(1)
,
Petr Nemec
(2)
,
Miloslav Frumar
(2)
,
Alain Moréac
(3)
,
Hervé Lhermite
(4)
,
Patrice Camy
(5)
,
Jean-Louis Doualan
(5)
,
Jean-Pierre Guin
(6)
,
Jenny Le Person
(7)
,
Florent Colas
(7)
,
Chantal Compère
(7)
,
Michel Lehaitre
(7)
,
Frederic Henrio
(8)
,
Dominique Bosc
(8)
,
Joël Charrier
(8)
,
Anne-Marie Jurdyc
(9)
,
Bernard Jacquier
(9)
1
ISCR -
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 Department of Graphic Arts and Photophysics [University of Pardubice]
3 GMCM - Groupe matière condensée et matériaux
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 CIRIL - Centre Interdisciplinaire de Recherche Ions Lasers
6 LARMAUR - LAboratoire de Recherche en Mécanique Appliquée
7 ERT - Unité Essais et Recherches Technologiques
8 FOTON - Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
9 LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents
2 Department of Graphic Arts and Photophysics [University of Pardubice]
3 GMCM - Groupe matière condensée et matériaux
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 CIRIL - Centre Interdisciplinaire de Recherche Ions Lasers
6 LARMAUR - LAboratoire de Recherche en Mécanique Appliquée
7 ERT - Unité Essais et Recherches Technologiques
8 FOTON - Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
9 LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents
Virginie Nazabal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 177367
- IdHAL : virginie-nazabal
- ORCID : 0000-0002-0113-3935
- IdRef : 119128063
Catherine Boussard-Plédel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 10241
- IdHAL : catherine-boussard-pledel
- ORCID : 0000-0001-6303-648X
- IdRef : 165597933
Bruno Bureau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 944692
- IdHAL : bruno-bureau
Jean-Luc Adam
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9493
- IdHAL : jean-luc-adam
- ORCID : 0000-0002-1242-6776
- IdRef : 050643592
Alain Moréac
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1056
- IdHAL : alain-moreac
- IdRef : 240980093
Hervé Lhermite
- Fonction : Auteur
- PersonId : 841362
Patrice Camy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745799
- IdHAL : patrice-camy
- IdRef : 157839737
Jean-Louis Doualan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 741506
- IdHAL : jean-louis-doualan
- IdRef : 033705577
Jean-Pierre Guin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 877
- IdHAL : jean-pierre-guin
- ORCID : 0000-0003-2480-5893
- IdRef : 05937442X
Joël Charrier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3733
- IdHAL : joel-charrier
- IdRef : 22349898X
Anne-Marie Jurdyc
- Fonction : Auteur
- PersonId : 179453
- IdHAL : anne-marie-jurdyc
- IdRef : 121483339
Résumé
Due to remarkable properties of the chalcogenide glasses, especially sulphide glasses, amorphous chalcogenide films should play a motivating role in the development of integrated planar optical circuits and their components. This paper describes the fabrication and properties of optical waveguides of pure and rare earth doped sulphide glass films prepared by two complementary techniques: RF magnetron sputtering and pulsed laser deposition (PLD). The deposition parameters were adjusted to obtain, from sulphide glass targets with a careful control of their purity, layers with appropriate compositional, morphological, structural characteristics and optical properties. These films have been characterized by micro-Raman spectroscopy, atomic force microscopy (AFM), X-ray diffraction technique (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) coupled with energy dispersive X-ray measurements (EDX). Their optical properties were measured thanks to m-lines prism coupling and near field methods. Rib waveguides were produced by dry etching under CF4, CHF3 and SF6 atmosphere. The photo-luminescence of rare earth doped GeGaSbS films were clearly observed in the n-IR spectral domain and the study of their decay lifetime will be presented. First tests were carried out to functionalise the films with the aim of using them as sensor.