Tutorial in clean room for microtechnology teaching: fabrication of an integrated humidity sensor - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00086549 , version 1 (19-07-2006)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00086549 , version 1

Citer

Anne-Claire Salaün, Hervé Lhermite, Nathalie . Coulon, Olivier Bonnaud. Tutorial in clean room for microtechnology teaching: fabrication of an integrated humidity sensor. EAEEIE'05 (European Association for Education in Electrical and Information Engineering), 2005, Lappeenranta, Finland. ⟨hal-00086549⟩
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