Selenide sputtered films development for MIR environmental sensor - Université de Rennes

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Article Dans Une Revue Optical Materials Express Année : 2016

Selenide sputtered films development for MIR environmental sensor

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E. Baudet

Fonction : Auteur

Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Aldo Gutierrez

Fonction : Auteur
PersonId : 7349
IdHAL : aldo-gutierrez-arroyo
IdRef : 223498807

Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

P. Nemec

Fonction : Auteur

Department of Graphic Arts and Photophysics [University of Pardubice]

Loïc Bodiou

Fonction : Auteur
PersonId : 3338
IdHAL : loic-bodiou
ORCID : 0000-0002-9367-0112
IdRef : 120539934

Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

Jonathan Lemaitre

Fonction : Auteur
PersonId : 3467
IdHAL : jonathan-lemaitre
ORCID : 0000-0003-4007-404X

Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

O. de Sagazan

Fonction : Auteur

Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

H. Lhermitte

Fonction : Auteur

Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

E. Rinnert

Fonction : Auteur

Institut Français de Recherche pour l'Exploitation de la Mer

Karine Michel

Fonction : Auteur
PersonId : 907934
IdHAL : karine-michel
ORCID : 0000-0002-8599-3659
IdRef : 074891871

Bureau de Recherches Géologiques et Minières

B. Bureau

Fonction : Auteur
PersonId : 944692
IdHAL : bruno-bureau

Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Joël Charrier

Fonction : Auteur
PersonId : 3733
IdHAL : joel-charrier
ORCID : 0000-0001-6833-9236
IdRef : 22349898X

Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON

Virginie Nazabal

Fonction : Auteur
PersonId : 177367
IdHAL : virginie-nazabal
ORCID : 0000-0002-0113-3935
IdRef : 119128063

Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Mots clés

Inductively coupled plasma Magnetron sputtering Mid-infrared spectral range Optical transducers Organic molecules Radio frequency magnetron sputtering Single mode propagation Ridge waveguides Hydrophobic polymers Environmental sensor Microsensors Reactive ion etching Refractive index Semiconducting selenium compounds Spectroscopic ellipsometry Surface roughness Germanium Environmental detection Thin films Waveguides Atomic force microscopy

Domaines

Chimie

Laurent Jonchère : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://univ-rennes.hal.science/hal-01367204

Soumis le : jeudi 15 septembre 2016-17:16:46

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-21:44:02

Dates et versions

hal-01367204 , version 1 (15-09-2016)

Identifiants

HAL Id : hal-01367204 , version 1
DOI : 10.1364/OME.6.002616

Citer

E. Baudet, Aldo Gutierrez, P. Nemec, Loïc Bodiou, Jonathan Lemaitre, et al.. Selenide sputtered films development for MIR environmental sensor. Optical Materials Express, 2016, 6 (8), pp.2616--2627. ⟨10.1364/OME.6.002616⟩. ⟨hal-01367204⟩

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