%0 Journal Article %T Structural analysis of RF sputtered Ge-Sb-Se thin films by Raman and X-ray photoelectron spectroscopies %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %+ Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN) %+ Institut Français de Recherche pour l'Exploitation de la Mer (IFREMER) %+ Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM) %A Baudet, E. %A Cardinaud, C. %A Girard, A. %A Rinnert, E. %A Michel, Karine %A Bureau, B. %A Nazabal, Virginie %Z IFREMER %Z BRGM %Z Région Bretagne %< avec comité de lecture %@ 0022-3093 %J Journal of Non-Crystalline Solids %I Elsevier %V 444 %P 64--72 %8 2016-07 %D 2016 %R 10.1016/j.jnoncrysol.2016.04.017 %K Radio-frequency magnetron sputtering %K Raman spectroscopy %K Structure %K Thin films %K Chalcogenide glass %K X-ray photoelectron spectroscopy %Z Chemical SciencesJournal articles %G English %L hal-01319062 %U https://univ-rennes.hal.science/hal-01319062 %~ UNIV-NANTES %~ BRGM %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IFREMER %~ IMN %~ ISCR %~ SCR_VC %~ STATS-UR1 %~ PCM %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-SDLM %~ IVER %~ TEST-UNIV-RENNES %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ UR1-MMS %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022 %~ TEST2-HALCNRS