Compressively-Stressed Test Structures for Opaque Micro-Structures Releasing Visualization
Agnes Tixier
(1)
,
E. Lebrasseur
(2)
,
T. Takahashi
,
Olivier Français
(3)
,
Bruno Le Pioufle
(4)
,
Yoshio Mita
(5)
,
H. Fujita
(2)
,
H. Toshiyoshi
1
LIMMS -
Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems
2 UTokyo - The University of Tokyo
3 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie
4 SATIE-SIAME - Systèmes d'Information et d'Analyse Multi-Echelles
5 iSML - intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory
2 UTokyo - The University of Tokyo
3 SATIE - Systèmes et Applications des Technologies de l'Information et de l'Energie
4 SATIE-SIAME - Systèmes d'Information et d'Analyse Multi-Echelles
5 iSML - intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory
T. Takahashi
- Fonction : Auteur
Olivier Français
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5957
- IdHAL : olivier-francais
- ORCID : 0000-0002-1132-804X
- IdRef : 103815899
Bruno Le Pioufle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 622
- IdHAL : bruno-le-pioufle
- ORCID : 0000-0002-0010-2475
- IdRef : 076314057
H. Toshiyoshi
- Fonction : Auteur