MEMS fabrication by selective polysilicon growth - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

MEMS fabrication by selective polysilicon growth

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00775887 , version 1 (14-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00775887 , version 1

Citer

Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Olivier Bonnaud. MEMS fabrication by selective polysilicon growth. Conf. Proc. of DTIP of MOEMS & MEMS 2005, May 2005, Montreux, Switzerland. pp.75-80. ⟨hal-00775887⟩
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