Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces

Résumé

Les polymères tels que le SU8 (biphénol A d'éther glycidyle), le PS233 (polysilane) et le matériau SOG (siloxane Spin On Glass) peuvent être utilisés conjointement dans la fabrication par processus couches minces de micro-résonateurs (MR) photoniques 2.5D. Cependant, ces matériaux n'étant pas toujours compatibles entre eux, il a été nécessaire d'inclure et d'optimiser des traitements plasmas au sein des processus couches minces de manière à augmenter l'adhérence et à permettre un développement sélectif de multicouches organiques en structures de type MR 2.5D disques et anneaux.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00652797 , version 1 (16-12-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00652797 , version 1

Citer

Daphné Duval, Abdelkader Zebda, Lionel Camberlein, Christian Godet, Etienne Gaviot, et al.. Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces. Journées Nationales de l Optique Guidée, Oct 2008, Lannion, France. pp.55-57. ⟨hal-00652797⟩
160 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More