Article Dans Une Revue
Microsystem Technologies
Année : 2006
Yolande Sambin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00437256
Soumis le : lundi 30 novembre 2009-10:50:37
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00437256 , version 1
Citer
Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Olivier Bonnaud. Mems fast fabrication by selective thick polysilicon growth In epitaxial reactor. Microsystem Technologies, 2006, 12, pp.953-958. ⟨hal-00437256⟩
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