Microdispositifs pour applications capteurs - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Microdispositifs pour applications capteurs

Résumé

L'essentiel de ce travail de recherche consiste à mettre au point un procédé de fabrication d'une nouvelle structure à effet de champ apte à augmenter la sensibilité de détection d'espèces chimiques ou biologiques. Le travail prévoit la réalisation d'une structure de type nanofilaire pour le canal du transistor. L'intérêt de cette configuration est d'obtenir une surface d'échange importante entre la couche active et l'environnement ambiant. L'objectif final est d'étudier les potentialités d'utilisation de ces structures dans la réalisation de microcapteurs à très haute sensibilité.
Fichier principal
Vignette du fichier
Article_jnrdm_2009_Lyon_Microdispositifs_pour_applications_capteurs.pdf (128.37 Ko) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
Loading...

Dates et versions

hal-00402625 , version 1 (07-07-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00402625 , version 1

Citer

Liang Ni, Anne-Claire Salaün, Régis Rogel, Laurent Pichon. Microdispositifs pour applications capteurs. JNRDM 2009, May 2009, France. ⟨hal-00402625⟩
100 Consultations
71 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More