Microdispositifs pour applications capteurs
Résumé
L'essentiel de ce travail de recherche consiste à mettre au point un procédé de fabrication d'une nouvelle structure à effet de champ apte à augmenter la sensibilité de détection d'espèces chimiques ou biologiques. Le travail prévoit la réalisation d'une structure de type nanofilaire pour le canal du transistor. L'intérêt de cette configuration est d'obtenir une surface d'échange importante entre la couche active et l'environnement ambiant. L'objectif final est d'étudier les potentialités d'utilisation de ces structures dans la réalisation de microcapteurs à très haute sensibilité.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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